等離子體化學反（fǎn）應過程（chéng）中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如（rú）下：

(1) 電場+電（diàn）子→高能電子

(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子（zǐ）、受激基團（tuán）、遊離基團) 活性基 團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性（xìng）基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以（yǐ）看出，電子首先從電場獲得能量，通過激（jī）發或電離將能量轉移（yí）到（dào）分子或原子中（zhōng）去，獲得能量的分子或原（yuán）子被激發，同時有（yǒu）部分分子（zǐ）被電離，從而（ér）成為活性基團；之後這些活性基團與分子或原子、活性基團與活（huó）性基團之間相（xiàng）互碰撞（zhuàng）後生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能（néng）被鹵素和氧氣等電子親和力較（jiào）強的物質俘獲，成為負（fù）離子。這類負離子具有很好的化（huà）學活性，在化學反應中起著重要的作用。
三、淨化原理
低溫等離子體技（jì）術處理汙染物的原理為：在外加電場的作用（yòng）下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊（jī）汙（wū）染物分子（zǐ），使其電離、解離和（hé）激發，然後便引發了一係列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子汙染物轉變為簡單小分子安全（quán）物質，或使有毒有（yǒu）害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使汙染物（wù）得以降解去除。因其電離後產生的電子平均能量在10ev ，適當控製反應條件可（kě）以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分（fèn）快速。作為環境汙染處理領域中的一（yī）項具有極強潛（qián）在優勢的高新技術，等離子體受到（dào）了國內外相關學科界的（de）高度關（guān）注。